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Water Technologies

Abwasseraufbereitung in der Halbleiterindustrie

Optimieren Sie die Abwasserbehandlung, um anspruchsvolle Prozess-, behördliche und Nachhaltigkeitsanforderungen zu erfüllen und gleichzeitig mehr Wasser sowie wertvolle Ressourcen zurückzugewinnen.

MASSGESCHNEIDERTE TECHNIK
ZUVERLÄSSIGE LEISTUNG
WASSER- UND RESSOURCENRÜCKGEWINNUNG

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Technologie auf einen Blick.

Bei der Halbleiterfertigung fallen komplexe Abwasserströme an, die Säuren, Lösungsmittel, Metalle und andere Prozesschemikalien enthalten.

Ein effektives Management dieser Abwässer trägt zum Schutz der Ressourcen und zur Aufrechterhaltung einer zuverlässigen Produktion bei.


Unsere Lösungen zur Abwasserbehandlung in der Halbleiterindustrie bieten für jeden Abwasserstrom den richtigen Ansatz:

  • Abwassermanagement

    Beherrschen Sie komplexe Abwasserströme durch Stromtrennung, spezielle Ablaufsysteme, Belüftung und Abluftsysteme.

  • Gezielte Behandlung

    Behandeln Sie spezifische Schadstoffe mit Lösungen für die Säuren neutralisierung (AWN), Fluorwasserstoffsäure (HF), chemisch-mechanisches Polieren (CMP), Schwermetalle wie Cu-CMP, Cyanid, Ammoniak/Ammonium, Isopropanol (IPA) und Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH).

  • Recycling von Halbleiterabwässern

    Gewinnen Sie ausgewählte Abwasserströme für Recycling, Wiederverwendung und Rückgewinnung von Ressourcen zurück und ermöglichen Sie so einen nachhaltigeren Betrieb.

MASSGESCHNEIDERTE TECHNIK

Eine umfassende Lösung zur Abwasserbehandlung in der Halbleiterindustrie – vom Konzept bis zum Betrieb, maßgeschneidert für Ihre spezifischen Anforderungen.

ZUVERLÄSSIGE LEISTUNG

Hohe Systemverfügbarkeit und zuverlässige Schadstoffentfernung tragen dazu bei, die Reinigungsleistung trotz Schwankungen im Abwasserdurchfluss und in den Abwassereigenschaften aufrechtzuerhalten.

WASSER- UND RESSOURCENRÜCKGEWINNUNG

Eine Lösung, die Wasserrecycling und -wiederverwendung in Anwendungen wie dem Rückschleifen, der ersten und letzten Spülung sowie bei Strömen mit geringer Konzentration ermöglicht und gleichzeitig wertvolle Schwermetalle zurückgewinnt.

Ein Blick in unsere Technologie.

Erfahren Sie, wie unser System zur Abwasserbehandlung in der Halbleiterindustrie funktioniert.

Tauchen Sie tiefer in unsere Abwasserbehandlung in der Halbleiterindustrie.

Anwendungen

Wo unsere Technologie den Unterschied macht.

Kundenservice

Dienstleistungen für jeden Bedarf.

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