Bei der Halbleiterfertigung fallen komplexe Abwasserströme an, die Säuren, Lösungsmittel, Metalle und andere Prozesschemikalien enthalten.
Ein effektives Management dieser Abwässer trägt zum Schutz der Ressourcen und zur Aufrechterhaltung einer zuverlässigen Produktion bei.
Unsere Lösungen zur Abwasserbehandlung in der Halbleiterindustrie bieten für jeden Abwasserstrom den richtigen Ansatz:
Abwassermanagement
Beherrschen Sie komplexe Abwasserströme durch Stromtrennung, spezielle Ablaufsysteme, Belüftung und Abluftsysteme.
Gezielte Behandlung
Behandeln Sie spezifische Schadstoffe mit Lösungen für die Säuren neutralisierung (AWN), Fluorwasserstoffsäure (HF), chemisch-mechanisches Polieren (CMP), Schwermetalle wie Cu-CMP, Cyanid, Ammoniak/Ammonium, Isopropanol (IPA) und Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH).
Recycling von Halbleiterabwässern
Gewinnen Sie ausgewählte Abwasserströme für Recycling, Wiederverwendung und Rückgewinnung von Ressourcen zurück und ermöglichen Sie so einen nachhaltigeren Betrieb.