半導体廃水処理

半導体製造では、酸、溶剤、金属、その他のプロセス用化学物質を含む複雑な排水が発生します。

これらを効果的に管理することで、資源の保護と安定した生産の維持につながります。

当社の半導体排水処理ソリューションは、あらゆる排水に対して最適なアプローチを提供します：

• 排水管理

  排水の分離、専用の排水システム、換気、排気システムにより、複雑な排水を管理します。
  
  

• 対象を絞った処理

  酸性廃液の中和（AWN）、フッ化水素酸（HF）、化学機械研磨（CMP）、Cu-CMPなどの重金属、シアン化物、アンモニア／アンモニウム、イソプロパノール（IPA）、テトラメチルアンモニウム水酸化物（TMAH）など、特定の汚染物質に対応したソリューションで処理を行います。
  
  

• 半導体廃水のリサイクル

  特定の廃水ストリームを回収し、リサイクル、再利用、資源回収に活用することで、より持続可能な操業を実現します。

当社の半導体廃水処理システムの仕組みをご覧ください。